氟化氫用電磁閥，分析儀讀數與標準氣體的差值同樣不能超過表1誤差要求，否則分析儀應自動鎖止。逾期不進行單點檢查時，分析儀也應自動鎖止。單點檢查不通過時，應對分析儀進行調整和線性化，進行五點檢查調整。檢查所用氣體應具有國家市場監管總局批準的標準參考物質證書，每一瓶氣體都隨附一份證書使其可以溯源。

采用標準氣體進行單檢查時首先通入零點標準氣體，對排放氣體測試儀進行調零，然后采用低濃度標準氣體通入氮氧化物分析儀進行檢查，若檢查不通過，則應使用高濃度標準氣體通入氮氧化物分析儀進行標定。使用高濃度標準氣體進行標定后，還應使用低濃度標準氣體進行檢查，而易見低濃度標準氣體濃度與限值相差甚遠，即便低濃度氣體檢測通過，對于高量程位還是缺少校驗，對于臨界值的判定有可能產生誤判，所以要保證氮氧化物分析儀具有良好的線性度，應定期進行期間核查，使用高濃度氣體校準，這樣才能保證檢驗結果持續的準確性和有效性。

氟化氫用電磁閥當單點檢查未能通過，應對分析儀進行維護保養或重新線性化處理，然后進行五點檢查，五點檢查用五種標準氣體應符合標準技術要求，同樣要具有國家市場監管總局批準的標準參考物質證書，按照低濃度標準氣體→中低濃度標準氣體→中高濃度標準氣體→高濃度標準氣體→零點標準氣體的順序逐一進行檢測，全部滿足NOX不超過相對誤差±4%或者絕對誤差±25×10-6方可正常使用。